:“不包括先进制程制造设备,比如ASML DUV光刻机整机的采购权,不提供EDA核心源码,并且受地缘监管约束,敏感领域,比如军事和航天应用会被远程禁止,且授权随时可被取
消。”
陈学兵皱了皱眉:“那光刻机相关材料呢?行不行?”
“我不清楚DCT有哪些具体材料需要特殊许可,所以没问。”
“激光光源器件啊!还有德国的物镜,美国高精度温控、去泡传感器,空气承轴,日本抗水光刻胶!”
陈学兵有点恨铁不成钢,跟任颖科普起来,一口气报了诸多核心器件。
而且还是搞浸没式DUV用的。
“美国本土没有成熟光刻机厂商,他们最后一家整机厂SVG,2001年就被ASML收购了,按理说我们搞光刻机整机,在美国国内没有掣肘力量,他们虽然没有整机厂,却在光刻机上游有很多厂商,Cymer的193nm ArF光
源,应用材料、泛林、科天都在提供光刻机配套设备,如果能获得他们的供应链进口许可,DCT可以快速完成干式,开始浸没式研发。”
任颖闻言感觉到了重要性,眼里有些工作失误的愧疚。
“那我现在去问。”她说着转身就要走。
“不用了!”陈学兵抬手,又开始自说自话:“不太可能...美国能源部和英特尔成立的EUV LLC现在已经明确支持ASML,90nm以下的先进制程设备有明确的受控材料清单,肯定不可能对DCT放开的...不过90nm的光刻机材
料...干式光刻机材料,0.75NA以内的光学系统,熔融石英透镜,干式光路,应该都在许可内,而且拿到这个许可说不定能去日本和德国获得更大的合作空间,我看你不要问他许可范围有哪些了,免得人家难做,就说我们投资了
一家香港医疗影像设备厂也需要这个许可,看看他们能不能操作。”
“医疗影像?”任颖意外了一下,而后恍然。
DCT现在还没有任何对外宣布的事项,如果医疗影像设备厂能拿到光学器件许可,那它就可以是一家医疗影像设备厂。
按照董事长撒钱的秉性,甚至...
真的可以有一家医疗影像设备厂。
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