光刻机,而后把陈学兵拉到一边,手指向不远处一台正在调试的设备旁边,那里有一片空置区域,声音透过口罩传来:
“这是我们给ASML引进的193浸没式光刻机预留的区域。”
这话一出,陈总有点震惊了。
“从什么渠道搞来的?瓦森纳协定对这类先进半导体设备有出口限制,中芯可以不遵守?”
张汝京小心地看了看正在参观机器的李市长他们,而后又看向跟着陈学兵的辛梦真。
“这是辛总,以后也是中芯的战友,你直说吧。”陈学兵道。
张汝京这才叹了口气,语气里满是无奈与不易:“哪能不遵守?这台设备能引进来,全靠中芯的国际股东从中斡旋,还有IBM的合同,才勉强通过荷兰方面的出口审批,走的是正规商业采购渠道,不过还得等一项美国特殊许
可批下来,才能启运。”
他顿了顿,又补充:“瓦森纳协定的限制不是绝对的,它更像是一种‘自愿出口管制”,荷兰方面会根据设备用途、采购方背景综合评估,我们当时承诺这台设备仅用于成熟制程研发,再加上外资股东背书,才侥幸获批。”
此时,陈学兵和辛梦真对了个眼神。
“美国特殊许可...不会是VEU吧。”辛梦真第一次开口,问道。
“对,你们知道?”张汝京有些惊奇。
中芯申请这项许可是最近的事情,目前还在准备材料。
此时,俩人口罩下的脸都有了笑容。
“193...你们拿到的是XT1250i还是XT1900?”辛梦真快速追问。
193i,不是ASML一家的专属型号名,而是行业通用技术类别称呼,是193nmArF浸没式光刻机的总称。
“i”是immersion,浸没式。
浸没式是在投影镜头和晶圆之间填充高纯度去离子水,利用水折射率n=1.44,代替空气n=1,从而提高有效数值孔径NA,提升分辨率。
XT:1250是2004ASML的初代193,NA值0.85,是65nm节点的工艺验证和试产机,分辨率、产能、套刻精度都不够45nm量产。
而XT:1900i是今年的高NA升级款,N

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