br /> 除了通过提升套刻精度搞更多重的曝光,DUV已经难有提升了。
他这么一想,对EUV就愈发有危机感。
EUV光源缩短十几倍,分子不是一下就缩小了十几倍?
“EUV...你了解吗?”陈学兵试探着问道。
他之前问过张汝京同样的问题,得到的是否定的答案。
梁孟松则迟疑了一下:“EUV?你想问什么?”
他一时没有思路,只能顺着刚才的话题问道:“EUV...也是靠这个公式进步吗?”
“是,不过EUV那样的光源,NA值达不到这么大,首先它波长太短,在任何介质下都会被吃掉,所以传播必须是真空,无法通过水提高折射率,连透镜折射都不行,只能反射,所以它的目标NA值是0.33,很难提升。”
其实这个0.33还有一番算法,梁孟松也不再细讲了,直接给了个答案。
陈学兵倒是听得心里一动:“这方面的理论知识你都清楚?”
梁孟松耸耸肩,笑道:“台积电从去年开始把EUV加入研发路线,林本坚和Anthony Yen负责,尤其是Anthony Yen,深度参与过EUV LLC早期的研究,自带最前沿的Know-how...比起他们,我不算了解。”
“能挖吗?”陈学兵立即道。
“怎么?你妄想做EUV?”梁孟松反笑:“你不是答应台积电不挖他们的人。”
“我答应中芯不挖,没说我不挖。”陈学兵哂笑:“我不动手就好了,不过,我还有一家刚成立的光刻机公司。”
梁孟松都上船了,他也不怕直说。
有些事想弄明白,恐怕也只有直说才行。
“做光刻机?”梁孟松眯了眯眼睛,倒没有太意外,不过随即却摇头:“DUV你有机会,EUV你肯定没机会的,是美国选中了ASML,连尼康和佳能都被排除在外,他们拿到了美国EUV全部专利技术,还有欧洲几十家关键厂商
在支持,至今也才做出第一台试验机,离量产还不知道有多少距离,你凭什么觉得你能行?”
陈学兵听得扬了扬眉:“一点也没可能?”
“一点也没有,除非你能拿到美国Cy

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